一、无尘室层级分类
1.湍流:空气从空调箱通过洁净室中的空气导管和空气过滤器进入洁净室,然后返回到洁净室中的回风柱或活动地板。气流处于不规则的湍流或涡流状态。此类型适用于洁净室等级:1000-100000。
2.层流式:气流成为均匀的直线,通过覆盖过滤器进入房间,然后返回到高架地板或两侧的回风柱。适用于较高级别的洁净室。
二、无尘室的工作环境对人身体有危害吗?
洁净室是一个相对封闭的车间,具有恒定的温度和湿度。从空调单元供应空气以保持恒定的空气供应。为了保证车间的安全,专为维持每小时的空气流通量而定。清洁度,温度和湿度。内部温度,湿度和灰尘量受到严格限制。
只要洁净室工作正常,就不会对人类造成伤害。如果存在伤害,则有两种可能的情况。
1.在某些站点使用的过程可能会产生废气和对人体有害的物质。常见的是由金属焊接(例如,电路板焊丝)产生的烟雾和易挥发的清洁溶液,需要安装可靠的排气装置。本设备可及时排放室外产生的有害气体。
2.根据空气供应量向洁净室供应新鲜空气。恒定的新鲜空气量也限制了可以同时进入洁净室的人数。超出设计要求将导致人员缺氧。头晕,恶心等症状。
因此,如果您有任何疑问,请到负责洁净室操作的公司检查上述两项。
三、无尘室基本介绍
无论洁净室中外部空气条件如何变化,所有室内环境都可以保持原始配置要求的洁净度,温度,湿度和压力。
洁净室的主要功能是控制产品(例如硅片)接触的气氛的清洁度,温度和湿度,从而可以在有利的环境空间中制造产品。该空间称为无尘空间。房间。根据国际惯例,无尘净化的水平主要取决于每立方米空气中的颗粒数,其直径大于分类标准。换句话说,所谓的“无尘”是以非常小的单位控制的,而不是在没有少量灰尘的情况下以100%控制的。当然,与普通粉尘相比,满足该标准的粉尘标准的颗粒非常小,但是在光学结构的情况下,即使少量的粉尘也会产生非常大的不利影响,因此在制造光学结构产品时没有必要。灰尘是不可避免的要求。
将每立方米0.5微米以上的细粉尘数量控制在3500以内将达到国际无尘标准的A级。应用于芯片级制造和加工的无尘标准对灰尘的要求比A级更高,这些高标准主要适用于某些高级芯片的生产。尘粒的数量严格控制在每立方米1,000个以内,在业界也称为1K级。
四、无尘室分类
无尘车间的采购可根据du分为几个级别:1级,100级,千级,10,000级,100,000级,300,000级和1百万级。
粒度小于0.5微米/立方米的细粉尘数量控制在3500以内,达到国际无尘标准A级。当前应用于芯片级生产和加工的无尘标准具有比A级更高的粉尘要求,而此类高标准主要适用于某些高级芯片的生产。细尘量严格控制在每立方米1,000以内。这在行业中也称为1000级。
南京天涯空调设备有限公司完成了中国第一个国际最高水平的“ ISO 1级”洁净室集成系统,并通过了专家组的评估。
美国于1963年建立了第一个国际洁净室标准,此后一直在不断修订标准。ISO在1999年统一了各个国家的清洁标准并发布了该标准。 “ ISO 1级”是标准的最高要求。
洁净室中的每立方米只有0.5个0.1微米的颗粒。洁净室只有10个粒子,是头发直径的1/1000。
五、万级无尘室的标准
世界各地的国家/地区都有自己规格,但通常,根据标准,洁净室分为6级。是1级,10级,100级,1000级,10,000级,100,000级。用尘埃数量表示洁净室的高度时,尘埃的大小可以认为是0.5μm,例如1级。 10级和100级洁净室中的最大尘埃数分别为1、10和100或更少。如果尘埃粒径不是0.5μm,则洁净室水平应基于特定的尘埃粒径。示例:10级为0.2μm(灰尘颗粒尺寸为0.2μm或更大,密度为75 /立方英尺或更小),1级为0.1μm(灰尘颗粒尺寸为0.1μm或更大,密度为35或更小)颗粒/立方英尺)。