发布时间:2020-08-19 15:03:09 人气: 来源:未知
带你认识无尘室
说到无尘室【洁净室】咱们都听过的是无尘衣、无尘车间,今天带咱们重新认识下:
车间净化工程:亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物扫除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪 音振荡及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别规划之房间。
工程完毕:亦即是不论外在之空气条件如何改变,其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿 度及压力等功能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个杰出之环境空间中生产、制作,此空间 咱们称之为洁净室。
洁净室控管:
(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。
(2)能避免微尘粒子之发生。
(3)温度和湿度之控制。
(4)压力之调节。
(5)有害气体之扫除。
(6)结构物与隔间之气密性。
(7)静电之防制。
(8)电磁搅扰预防。
(9)安全因素之考虑。
(10)节能之考量。
无尘室构成:
洁净室的构成是由下列各项体系所组成(在所组成的体系分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且质量杰出的洁净室。
(1)天花板体系:包含吊杆(Ceiling rod)、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调体系:包含空气舱、过滤器体系、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包含窗户、门。
(4)地板:包含高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包含日光灯、黄色灯管等。
洁净室之修建主体结构,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种结构,必须满足如下之条件:
(1)不会因温度改变与振荡而发生裂缝。
(2)不易发生微尘粒子,且很难附着粒子。
(3)吸湿性小。
(4)为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、高效三级过滤器过滤,使空气到达所要求的洁净等级。由于高效过滤器能够滤除<1μm(微米)的尘埃粒子,对细菌的穿透率为10-6,所以经过高效过滤器的空气,可视为无菌。
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